所谓半导体电子洁净车间，指的是洁净度在10万级标准以上的车间，主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。在绝大多数情况下，无尘车间运行中风速越低，过滤器的使用效果越好。
小粒径粉尘的扩散作用(布朗运动)明显，风速低了，气流在过滤材料中滞留的时间就长一些，粉尘就有更多的机会撞击障碍物，因此过滤效率就高。经验表明，对于过滤器，风速减少一半，粉尘的透过率会降低近一个数量级(效率数值增加一个9)，风速增加一倍，透过率会增加一个数量级(效率降低一个9)。
无尘室是污染控制的基础，是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在无尘室的硅晶片制造链中，必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间，硅晶片零件才能够正常批量生产.一些高新技术对生产环境的要求提高，为了提升竞争力，各个行业也开始追求无尘室的质量。
除了防止微尘进入，无尘室也要设置净化空调系统、水电系统、生产工艺设备等各类设备设施，来确保无尘室内的空气洁净度级别使用符合产品生产工艺的要求。在系统正常运行中，维护也是必不可少的。比如，空气过滤器是否疏通正常、密封垫是否牢固、送风机轴承的运行是否处于正常状态等。每一项都影响了系统的运行，因此不可遗漏。