这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线(概述图)。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。
压阻式传感器是根据半导体材料的压阻效应在半导体材料的基片上经扩散电阻而制成的器件。其基片可直接作为测量传感元件,扩散电阻在基片内接成电桥形式。当基片受到外力作用而产生形变时,各电阻值将发生变化,电桥就会产生相应的不平衡输出。 用作压阻式传感器的基片(或称膜片)材料主要为硅片和锗片,硅片为敏感 材料而制成的硅压阻传感器越来越受到人们的重视,尤其是以测量压力和速度的固态压阻式传感器应用为普遍。
传感器的端部是高弹性钢质薄膜,头部充满低黏度硅油,起传递压力和隔热作用。敏感元件硅杯浸在硅油中,被测压力通过钢膜片和硅油传递给硅杯,硅杯的集成电阻通过金属引线与绝缘端子相连,在印制电路板上有各种补偿电阻。
传感器是自动检测系统主要的自动化装置,其中还包括显示器、数据处理装置。它是用来感受被测量并且以一定规律转换成可输出信号的器件或装置,还可以将被测参数转换成一定且方便传输的信号,如电信号或气信号。