这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线(概述图)。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。
例如,用于测量直升飞机机翼的气流压力分布,测试发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的抖动等。在飞机喷气发动机中心压力的测量中,使用专门设计的硅压力传感器,其工作温度达500℃以上。在波音客机的大气数据测量系统中采用了精度高达0.05%的配套硅压力传感器。
性能稳定、可靠性高:由于工作弹性形变低至微应变数量级,弹性薄膜位移在亚微米数量级,因而无磨损、无疲劳、无老化。寿命长达107压力循环次以上。温度系数小: 由于微电子技术的进步,四个应变电阻的一致性可做的很高,加之激光修调技术、计算机自动补偿技术的进步,硅压阻传感器的零位与灵敏度温度系数已可达10-5/℃数量级,即在压力传感器领域已超过温度系数小的应变式传感器的水平。
适应介质广: 由于硅的优良化学防腐性能,与硅油的良好可兼容性,使得隔离式结构易于实现,即使非隔离型的压阻压力传感器,也有相当程度的适应各种介质的能力。 防爆: 由于其低电压、低电流的低功耗特点,它是本质防爆型产品,可广泛用于各种化工工业检测控制等领域,具有性价比。