三氟化磷高纯氨气三氯氢硅三氟化氯三氟甲烷二氯二氢硅/二氯硅烷氟化氢三氯化硼溴化氢四氟化硅六氟化硫一氧化氮一氧化二氮氧硫化碳(COS)一氧化碳三氟甲烷四氯化锗六氟乙烷
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